電子顕微鏡用試料作製装置
| 分類 | 0112:その他の理化学機器・装置 |
| メーカー | 日本電子（株） |
| 型式 | SM-09010 |
| 概要・用途 | ブロードなArイオンビームと遮蔽(しゃへい)板を用いて試料の断面を加工する |
| 仕様 | イオン加速電圧 2～6kV イオンビーム径 500μm(半値幅) ミリングスピード 100μm/H (加速電圧：6kV、シリコン換算、エッジ距離：100μm) 最大搭載試料サイズ 幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm |
| 料金 | 最初の1時間 7,510円 2時間目以降 1,980円 |
| 所有機関 |
産業技術環境研究本部工業試験場 〒060-0819 札幌市北区北１９条西１１丁目 電話：011-747-2321 ファックス：011-726-4057 http://www.hro.or.jp/list/industrial/research/iri/gijyutu/setsubi/index.html |
| 設置場所 | |
| 関連依頼試験 |